SENTINEL模块控制器在Axcelis公司GSD离子注入机的应用

应用在Axcelis公司GSD离子注入机中的SENTINEL模块控制器，额外支持先进数据收集功能，该功能优于其OEM内置的日志记录功能。

功能与规格

•     高频束的监测（〜5次/秒）
•     远程配置编辑和“黄金配置”验证
•     优化的数据库能够对响应数据进行分析
•     数据导出功能，允许使用偏好的统计数据包进一步分析
•     故障检测控制（FDC）和统计过程控制（SPC）
•     FDC和SPC电子邮件通知
•     基于编程使用的PM计数器

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