SENTINEL模块控制器

SENTINEL模块控制器提供了许多功能，利用庞大的数据记录和分析工具套件以提高产量，降低成本，提高设备正常运行时间。

• 优于OEM工具的数据记录功能
• 内置统计分析功能和故障检测控制
• 数据导出功能支持分析产量和电气测试数据的相关性
• 可以您的网络上的任何计算机访问
• 可以比较/叠加多个工具/运行结果
• 提供一个已优化的响应环境
• 能够远程编辑和验证配置

支持的工具包括：

• Axcelis公司GSD系列离子注入系统。   
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